
导读:相信咱行业内人士应该都见过晶圆,一片薄薄的类似玻璃的圆形物体,和玻璃一样脆弱却又比玻璃要多上几种颜色,并且晶圆的表面会有一道道平均又平衡的划痕。那么,晶圆,到底是什么呢?让ASEMI半导体来告诉你,晶圆的秘密。
晶圆,是制造各式电脑芯片的基础。ASEMI半导体研发过程中,基本晶圆处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗之后,送到热炉管内,在含氧的环境中,以加热氧化的方式在晶圆的表面形成一层厚约数百个的二氧化硅层,紧接着厚约1000到2000的氮化硅层将进行微影的制程,先在晶圆上上一层光阻,再将光罩上的图案移转到光阻上面。接着利用蚀刻技术,将部份未被光阻保护的氮化硅层加以除去,留下的就是所需要的线路图部份。
接着ASEMI半导体工作人员会以磷为离子源,对整片晶圆进行磷原子的植入,然后再把光阻剂去除。制程进行至此,ASEMI半导体已将构成集成电路所需的晶体管及部份的字符线,依光罩所提供的设计图案 ,依次的在晶圆上建立完成。

接着进行金属化制程,制作金属导线,以便将各个晶体管与组件加以连接,而在每一道步骤加工完后都肯定要进行一些电性、或是物理特性量测,这个部分,ASEMI 半导体全部采用台湾上乘KK设备—冠魁测试线进行全面测试。如此重复步骤制作第*一层、第*二层...的电路部份,以在硅晶圆上制造晶体管等其他电子组件;所加工完成的产品会被送到电性测试区作电性量测。
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