
导读:在ASEMI半导体满足你对晶圆最全面的好奇心,全部术语就在这里(上),ASEMI半导体为大家介绍了将近50个晶圆的专业术语,一时间介绍太多怕大家接受不了,但是有好东西ASEMI半导体还是毫不吝啬跟大家分享的,这不,下一轮晶圆术语轰炸,又来啦~
凹槽 - 没有被完全清除的擦伤;手工印记 - 为区分不同的晶圆片而手工在背面做出的标记;雾度 - 晶圆片表面大量的缺陷,常常表现为晶圆片表面呈雾状;空穴 - 和正电荷类似,是由缺少价电子引起的;晶锭 - 由多晶或单晶形成的圆柱体,晶圆片由此切割而成;激光散射 - 由晶圆片表面缺陷引起的脉冲信号;光刻 - 从掩膜到圆片转移的过程;局部光散射 - 晶圆片表面特征,例如小坑或擦伤导致光线散射,也称为光点缺陷。

批次 - 具有相似尺寸和特性的晶圆片一并放置在一个载片器内;多数载流子 - 一种载流子,在半导体材料中起支配作用的空穴或电子;机械测试晶圆片 - 用于测试的晶圆片;微粗糙 - 小于100微米的表面粗糙部分;索指数 - 三个整数,用于确定某个并行面。这些整数是来自相同系统的基本向量;最小条件或方向 - 确定晶圆片是否合格的允许条件;堆垛 - 晶圆片表面超过0.25毫米的缺陷;桔皮 - 可以用肉眼看到的粗糙表;颗粒 - 晶圆片上的细小物质;颗粒计算 - 用来测试晶圆片颗粒污染的测试工具;颗粒污染 - 晶圆片表面的颗粒。
深坑 - 一种晶圆片表面无法消除的缺陷;点缺陷 - 不纯净的晶缺陷;测试晶圆片 - 影印过程中用于颗粒计算、测量溶解度和检测金属污染的晶圆片;主定位边 - 晶圆片上最长的定位边;加工测试晶圆片 - 用于区域清洁过程中的晶圆片;糙度 - 晶圆片表面间隙很小的纹理;第二定位边 - 比主定位边小的定位边,它的位置决定了晶圆片的类型和晶向;局部表面 - 晶圆片前面上平行或垂直于主定位边方向的区域;表面纹理 - 晶圆片实际面与参考面的差异情况;测试晶圆片 - 用于生产中监测和测试的晶圆片;顶部硅膜厚度 - 顶部硅层表面和氧化层表面间的距离;顶部硅膜 - 生产半导体电路的硅层,位于绝缘层顶部;总计指示剂数(TIR) - 晶圆片表面位面间的最短距离。
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